日本橫濱ZF-600-1?橡膠氣囊技術領域的技術

日本橫濱ZF-600-1?橡膠氣囊技術領域的技術
ZF-600-1??橡膠氣囊自然環境振動早已成為了制約械加工設備和檢測儀器度和特點提升的主要要素。尤其是以步進電掃描儀光刻技術為代表的集成電路工藝電子器件生產設備，技術性抗壓強度和復雜性高，?橡膠氣囊重要性能參數做到了原來工藝的，意味著了械加工的較高設備。
ZF-600-1??橡膠氣囊高減震已變成此類設備的關鍵核心技術；步進電掃描儀光刻技術線距已做到22n諾冠M及以下，圓晶精度級別和疊合度做到數技術，商品工件臺速度做到l諾冠M/日本橫濱日本橫濱S以上，商品工件臺瞬時速度做到重力加速度的幾十倍，對原有的?橡膠氣囊振動明確提出了新的挑戰隔離技術。與此同時還推動商品工件操作臺迅速、高瞬時速度移動，這對減震減振特點明確提出了為嚴苛的規定。
三個方位的共振頻率都在1Hz以下，光刻技術各部件之間相對位置，如光刻技術測微目鏡與單晶硅片表層的間距，都是有十分嚴謹的規定，處于關閉的位置環中。在反饋意見自動控制的操縱下，規定?橡膠氣囊上下安裝板中間的相對位置度做到數量，而傳統化的精度遠遠地不可以符合要求。